半導体 次世代半導体製造・先進後工程で進化するクリーンルームとは、具体例・技術革新ポイント13
はじめに:なぜクリーンルームが進化しているのか現在、2nm世代をターゲットとした次世代半導体製造や、先進後工程(Advanced Packaging、チップレット化やハイブリッドボンディングを含む工程)の開発が急速に進み、従来の300mmウ...
半導体
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