半導体 次世代MEMSとは何か?市場拡大の鍵を握る新構造・新素材・製造技術を徹底解説
MEMSとは ― マイクロマシンの原点を理解するMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、「電子回路(Electrical)」と「機械構造(Mechanical)」を一体化した微小システムであり、微細な...
半導体
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