半導体 次世代半導体製造に求められる流体制御機器(MFC、バルブ、ポンプなど) ― 要求事項と具体例
はじめに半導体製造プロセスは、極めて高度で精密な制御が求められ、製造装置に搭載される各種流体制御機器には高い性能及び高品質が要求されます。次世代半導体製造では、プロセスの微細化(2nm以下の微細加工)、3D積層化、高スループット化が求められ...
半導体
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