半導体 半導体工場の自動化ロードマップ ― レベル5完全無人化への課題と新しいビジネス機会
はじめに半導体製造は、装置の高速化を背景に、「人が現場に常駐しない=Lights-Out Manufacturing(完全無人)工場」へと進化しています。まず、AIや機械学習を活用してプロセスをリアルタイムで最適化し、異常検知や設備の予知保...
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