次世代実装 フォトレジスト・CMPスラリー・銅張積層板 ― 先進後工程を支える3大材料技術の最前線
先進後工程で注目される「3大材料技術」とは?半導体産業は長年にわたり、微細化による性能向上を追求してきました。しかし、EUV(極端紫外線)露光技術を用いた7nmや5nmといった超微細領域では、製造コストの高騰や歩留まりの低下といった課題が顕...
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