AIインフラ RAPIDUS・TSMC熊本の陰の主役は排ガス処理設備だった―EUV時代に拡大する環境インフラ市場と技術的要件
RAPIDUS・TSMC熊本の先端ファブで重要性が急上昇する排ガス処理設備。EUV時代に増大するPFC・NF₃・N₂Oなどの難分解ガス、POUスクラバー、NOₓ制御、フッ素リサイクルなど、環境インフラの最新動向を専門的に解説。
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