次世代実装 先進後工程で重要度が高まる半導体テープ技術、 チップレット・FOWLP時代を支える高機能テープの進化
はじめに ― 「貼る材料」が先進半導体を支える半導体製造の工程では、ウェハの固定やチップの保護、搬送など、多くの場面で「テープ」が用いられます。従来は単に補助材料とみなされてましたが、ウェハの薄化、チップレット化、ファンアウト型パッケージ(...
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