2035未来予測 分子1個との戦い ~2035年、半導体製造を変える極低濃度ガス管理~
はじめに半導体産業はこれまで、より小さく、より速く、より高性能なデバイスを追求してきました。微細化が進むたびに技術者は新たな課題に直面してきましたが、その多くは“目に見える課題”でした。配線幅、膜厚、加工精度、発熱量─いずれも測定可能であり...
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